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杭州恒水過濾器材有限公司

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囊式過濾器-光刻膠過濾

囊式過濾器應(yīng)用于中小流量液體的有效過濾 , 適用于半導(dǎo)體光刻應(yīng)用點，多種材質(zhì)可以選擇，確保減少晶圓上的缺陷和提高產(chǎn)量?？纱_保降低顆粒，減少有機和金屬浸出物，從而提高沖洗性能，延長過濾器的正常運行時間。

主要特點

1.確保較低的浸出率，顆粒脫落，非揮發(fā)性殘留物（NVR）和金屬污染物

2.更快的系統(tǒng)刷新和延長過濾器的運行時間

3.疏水膜可以有效的減少污染，減少晶圓上的缺陷和提高產(chǎn)量

4.無需預(yù)潤濕

0571-87022016

詳細(xì)信息在線留言

規(guī)格參數(shù)：

濾材：PP、PTFE、UPE、N66

支撐材料：密封圈

最大工作壓差：0.27Mpa（25°C）

最大進(jìn)口壓力：0.37Mpa（25°C）

最高工作溫度：40°C

尺寸圖

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